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HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國(guó) HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列是專(zhuān)為最苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計(jì). HVA 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門(mén)上雙密封設(shè)計(jì), 閥門(mén)內(nèi)部幾乎沒(méi)有移動(dòng)部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿(mǎn)足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過(guò)程分離 - 免維護(hù)
真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計(jì)和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動(dòng)或氣動(dòng)控制
標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶(hù)定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
全部美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列參數(shù):
閥門(mén)材質(zhì):
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- 閥門(mén)主體
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304 不銹鋼
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- 焊接波紋管軸封
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AM - 350
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閥門(mén)密封方式
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- 高真空
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氟橡膠
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真空:
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- 壓力范圍
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高真空 1x10-9 mbar
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- 漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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- 差壓關(guān)閉
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2 bar (任意位置)
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- 開(kāi)啟前最大壓力
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≤ 1 bar
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烘烤溫度(不含電磁閥):
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- 佛橡膠密封
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150 °c, 可選配置最大 250 °c
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- 驅(qū)動(dòng)方式
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手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
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- 氣體
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80 psig (5.5 bar)
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- 電磁
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4.0 Watts
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- 供電
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120 VAC 50 /60 Hz
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- 可選電壓
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24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
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- 位置指示器,最大
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115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
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使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
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公稱(chēng)通徑: DN 50 - 200 mm
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HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過(guò)程真空閘閥 71000 系列部件圖:


上海伯東主營(yíng)產(chǎn)品:德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵,干式真空泵,羅茨真空泵,旋片真空泵;應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的真空計(jì),氦質(zhì)譜檢漏儀,質(zhì)譜分析儀以及美國(guó)考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源,美國(guó) HVA 真空閥門(mén),Polycold 冷凍機(jī),離子刻蝕機(jī),Europlasma等離子納米涂層設(shè)備等。
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公司信息
企業(yè)類(lèi)型: | 企業(yè)單位 | 主營(yíng)行業(yè): | |
經(jīng)營(yíng)模式: | 貿(mào)易型 | 年?duì)I業(yè)額: | |
員工人數(shù): | 人 | 公司注冊(cè)地: | 上海 |
公司成立時(shí)間: | 0000-00-00 | 聯(lián)系方式: | 上海市外高橋保稅區(qū)希雅路33號(hào)17號(hào)樓B座3層,200131 |
主營(yíng)產(chǎn)品或服務(wù): | 伯東企業(yè)(上海)有限公司主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品:德國(guó) Pfeiffer 真空泵,氦檢漏儀,分子泵,質(zhì)譜儀,真空規(guī)管,真空閥門(mén)及美國(guó)Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,PLD鍍膜機(jī)。伯東公司在上海及深圳設(shè)有維修中心,為客戶(hù)24小時(shí)提供所有銷(xiāo)售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù)。 |
伯東企業(yè)(上海)有限公司主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品:德國(guó) Pfeiffer 真空泵,氦檢漏儀,分子泵,質(zhì)譜儀,真空規(guī)管,真空閥門(mén)及美國(guó)Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,PLD鍍膜機(jī)。伯東公司在上海及深圳設(shè)有維修中心,為客戶(hù)24小時(shí)提供所有銷(xiāo)售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù)。