上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析質譜儀 QMG 應用于分子束外延(MBE)系統
分子束外延(MBE)是一種晶體生長技術，將半導體襯底放置在超高真空腔體中，和將需要生長的單晶物質按元素的不同分別放在噴射爐中，由分別加熱到相應溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長出極薄的，可薄至單原子層水平，單晶體和幾種物質交替的超晶格結構。
分子束外延主要研究的是不同結構或不同材料的晶體和超晶格的生長。該方法生長溫度低，能嚴格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度。
分子束外延系統對真空度要求及其高，對真空腔體的密封性、材料放氣率、微量雜質氣體和水蒸氣比較敏感，本系統采用上海伯東德國 Pfeiffer 殘氣質譜儀 QMG 對超高真空腔體進行檢漏，及材料放氣組分及水汽進行分析，確保超高真空及真空的穩定性，對晶格的生長起到很好的作用。

客戶案例：上海某研究所 MBE 超高真空系統

系統運行條件：
1. 主要針對 ZnO 等金屬氧化物外延生長
2. 超高真空生長室，配有上海伯東德國 Pfeiffer殘余氣體分析質譜儀 QMG+液氮冷屏;
3. 配有12個加熱泄流源.
4. 襯底加熱器加熱溫度1200℃
5. SiC 襯底加熱器可以在氧氣環境下工作;
6. 線型進樣室實現全自動送片 

配套 Pfeiffer QMG 殘余氣體分析質譜儀配置:
1.測量范圍:1-100amu
2.檢測器:Faraday/C-SEM
3.烘烤溫度:200℃
4.離子源:Grid ion source
5.燈絲:Yttriated iridium
6.配有軟件及I/O模塊

Pfeiffer 殘余氣體質譜分析儀與友廠同級別質譜分析儀相比，更適用于移動應用，并且提供高解析度和靈敏度，可對氣體進行定性和定量分析，應用范圍廣泛，從大氣壓力到高真空均可使用。

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 羅小姐                                   臺灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322                            F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 ( 微信同號 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
www.hakuto-china.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權所有, 翻拷必究！

公司信息

企業類型：	企業單位	主營行業：
經營模式：	貿易型	年營業額：
員工人數：	人	公司注冊地：	上海
公司成立時間：	0000-00-00	聯系方式：	上海市外高橋保稅區希雅路33號17號樓B座3層，200131
主營產品或服務：	伯東企業（上海）有限公司主要經營產品：德國 Pfeiffer 真空泵，氦檢漏儀,分子泵，質譜儀，真空規管，真空閥門及美國Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵， Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源，PLD鍍膜機。伯東公司在上海及深圳設有維修中心,為客戶24小時提供所有銷售產品的技術支持及售后服務。